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產品簡介
ULVAC愛發科 通用帶電機羅茨真空泵 GR90A干式真空泵“Model：GR"是在久經考驗的“Model：LR?HR"的基礎上，為一般工業設計的結構簡單的泵。
ULVAC愛發科 通用帶電機羅茨真空泵 GR90A
ULVAC愛發科 通用帶電機羅茨真空泵 GR90A
可用于高負載應用，例如大氣~真空的重復抽真空和高壓區域的連續運行
非常適合需要高通量的載重鎖室（制備室和取出室）的排氣
與通用感應電機兼容
可安裝防爆電機等特殊電機（可選）
使用多電壓電機
用
真空排氣清潔氣體，如空氣和惰性氣體
各種沉積設備的制備室和取出室的排氣
一般工業應用，如真空干燥、真空氣體置換和真空消泡
真空氣體置換，例如真空絕熱和充氣
| 型 | GR60A 系列 | GR90A 系列 | GR180A 系列 | |||||
| 最大抽速 | 50 赫茲 | m3/h（升/分鐘） | 62(1860) | 112(1030) | 183(3100) | |||
| 60 赫茲 | m3/h（升/分鐘） | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
| 極限壓力 *1 | 帕 | 5.0 | ||||||
| 最大入口壓力 | 氣壓 | |||||||
| 最大排氣口壓力 | 帕 | 1~大氣壓 | ||||||
| 進氣口 | VG50 系列 | VG80型 | ||||||
| 排氣口 | 西北 40 | |||||||
| DRP 表面處理 | 〇 | |||||||
| 發動機 | 輸出功率 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 電壓 [V] | 50 赫茲 | 200~240/380~415°C | ||||||
| 60 赫茲 | 200~240/380~460°C | |||||||
| 質量 | 公斤 | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷卻方式 | 冷卻水 的一次供應壓力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||
| 冷卻水 入口/出口壓差 | 兆帕 | >0.1 | ||||||
| 冷卻水溫度 | °C | 10~30 *2 | ||||||
| 冷卻水流量控制 | 升/分鐘 | >5.0 | ||||||
| 氮氣 | 一次供氣壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||
| 出口 調節壓力 *3 | 兆帕 | 0.05~0.1（運轉） | ||||||
| 軸 | SLM 系列 | 5.0 *4 | ||||||
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