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產品簡介
EBARA荏原干式真空泵EST100WN北崎供應EST 型號使用螺桿式轉子，并配備了高溫功能，可將泵中的氣體保持在高溫下，使其非常適合 CVD 等形成反應副產物的應用。 標準使用耐腐蝕材料，實現高抽速和高流量泵送，減少停機時間并有助于提高工藝效率。
EBARA荏原干式真空泵EST100WN北崎供應
EBARA荏原干式真空泵EST100WN北崎供應
| 單位 | EST10N 系列 | EST25N 系列 | EST100WN | EST200WN | EST300WN | EST500WN | EST800WN | ||
| 抽速 | 升/分鐘 | 1,000 | 2,500 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 80,000 | |
| 極限壓力 | 帕 | 2.7 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.5 | |
| 連接直徑 | 進氣口 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 50 | 西北 100 | 西北 100 | ISO160 認證 | ISO200 認證 | |
| 排氣口 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | ||
| 極限壓力下的近似功率 | 千瓦 | 2.3 | 3 | 3.2 | 3.2 | 4.5 | 4.6 | 4.6 | |
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 溫度 | °C | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | |
| 注 2 | 流量 | 帕•m3/秒 | 13~18 | 13~18 | 24~29 | 24~29 | 28~31 | 28~31 | 28~31 |
| 電源相位/電壓/頻率 | 200V 型號 | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型號 | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | ||
| 電源容量 | 千伏安 | 4.6 | 7.3 | 8.2 | 8.5 | 12.7 | 15.1 | 16 | |
| 近似質量 | 公斤 | 260 | 300 | 380 | 430 | 500 | 550 | 840 | |
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