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產品簡介
日本進口EBARA荏原干式真空泵EST10N兼容高溫控制抽速大大流量排氣采用耐腐蝕材料標準耐腐蝕性增強選項能夠在重負荷下進行處理在不同頻率下具有相同的性能 （50/60 Hz）油提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL
日本進口EBARA荏原干式真空泵EST10N
日本進口EBARA荏原干式真空泵EST10N
EST 型號使用螺桿式轉子，并配備了高溫功能，可將泵中的氣體保持在高溫下，使其非常適合 CVD 等形成反應副產物的應用。 標準使用耐腐蝕材料，實現高抽速和高流量泵送，減少停機時間并有助于提高工藝效率。
| 型 | 單位 | EST10N 系列 | EST25N 系列 | EST100WN | EST200WN | EST300WN | EST500WN | EST800WN | |
| 抽速 | 升/分鐘 | 1,000 | 2,500 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 80,000 | |
| 極限壓力 | 帕 | 2.7 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.5 | |
| 連接直徑 | 進氣口 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 50 | 西北 100 | 西北 100 | ISO160 認證 | ISO200 認證 | |
| 排氣口 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | ||
| 極限壓力下的近似功率 | 千瓦 | 2.3 | 3 | 3.2 | 3.2 | 4.5 | 4.6 | 4.6 | |
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 溫度 | °C | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | |
| 注 2 | 流量 | 帕•m3/秒 | 13~18 | 13~18 | 24~29 | 24~29 | 28~31 | 28~31 | 28~31 |
| 電源相位/電壓/頻率 | 200V 型號 | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型號 | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | ||
| 電源容量 | 千伏安 | 4.6 | 7.3 | 8.2 | 8.5 | 12.7 | 15.1 | 16 | |
| 近似質量 | 公斤 | 260 | 300 | 380 | 430 | 500 | 550 | 840 | |
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