日本原裝KASHIYAMA樫山工業SDL36E60噪音干式真空泵

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能夠很好地應對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節拍時間通過組合可實現大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側排氣速通過大型負載鎖定室的高速排氣縮短節拍時間。

采用立式螺桿和特殊材料的高耐腐蝕性、采用的單螺桿形狀實現節能、多樣化的產品線可滿足所有流程

多種溫度變化可滿足多種工藝需求，并通過20000L/min等級比本公司減少35%的足跡新的加熱器系統進一步提高工藝耐用性

符合各種要求規格的產品規格以安全標準和安全設計為首要任務的高可靠性設計

DX節能/嚴酷工藝兼容機、SDT/SDH耐工藝/超嚴酷工藝兼容機
不使用N2吹掃時的值。 最終運行時功耗的近似值。 封裝尺寸。請索取外部圖紙以了解詳細尺寸。